2022
- 分(fēn)類:發展曆史
- 作(zuò)者:
- 來(lái)源:
- 發布時(shí)間(jiān):2022-09-26
- 訪問(wèn)量:0
【概要(yào)描述】Ø 2 inch 規模量産,Ø 4 inch 小(xiǎo)批量供貨,Ø 7 inch 樣品研發。
位錯(cuò)密度:研發水(shuǐ)平10³cm⁻²,量産水(shuǐ)平10⁵cm⁻²。
2022
【概要(yào)描述】Ø 2 inch 規模量産,Ø 4 inch 小(xiǎo)批量供貨,Ø 7 inch 樣品研發。
位錯(cuò)密度:研發水(shuǐ)平10³cm⁻²,量産水(shuǐ)平10⁵cm⁻²。
- 分(fēn)類:發展曆史
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作(zuò)為(wèi)課題承擔單位獲得(de)國(guó)家(jiā)重點研究計(jì)劃“第三代半導體(tǐ)的(de)襯底制(zhì)備及同質外₩(wài)延”項目支持
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